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第263章 工艺最高达到了45nm
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    首次商谈合作并没有成功。

    但合作的心,左锋是有的。

    因为于歆然说得也不错,虽然在技术之上,艾尔的平衡车也不错,质量控制也很好,但在这个时间段,市场是非常小众的。

    赛格被收购之后,显然有了更多的资金去研发新的平衡车。

    而大米的一向做法,就是性价格。

    说不定,到时候,又来一个1999元的平衡车,那真的是日了狗了。

    真的不要一点儿利润了吗?

    因此,左锋的话也没有说死,双方友好散场,于歆然则是表示将让张菁继续跟进谈判。

    商场的事情,就是这样,很多时候不可能那么顺心顺意,一下子就收购了,或是投资了,需要慢慢地洽谈。

    将张菁等人打发回了京都,于歆然带着林云往魔都而去。

    江成,可是在那儿待了好些天了呢。

    新婚刚小别,很是想念了。

    ---づ?ど---

    此时,在魔都微的江成在整机研发上又忙活了五六天。

    科宇光源的激光器,虽然还没有非常完善,但基本上能够发出193nm的准分子激光,这个部件,在副总江磊的带领下,初步整了下,已经发到了魔都微电子。

    而长春光机所的物镜系统也已经运输到了。

    现如今,江成正带着光刻机研发主管连广浩一众工程师进行集中装配和验证。

    如果只是他们,那估计装配都是一个问题,但是江成在,他们就感觉做事顺畅了许多。

    任何部件,应该装配哪里,各类系统的连接线路,要怎么布局,在江成的心头,都有着数,让大家有不懂的、有疑问的,江成一说就好。

    昏黄的灯光下,江成等人穿着无尘服,开始了刚刚装配完成的样机实验。

    这是第一个样机,更多是作为整机装配试验和验证功能用。

    “双工件台的控制系统没问题了吧?”看着眼前这个庞然大物,江成也是心头激荡不已。

    控制系统的工程师抬手比了一个ok。

    这个系统,在双工件台年初到公司之后,就一直在开发试验,整机装配期间也不断完善,以适应全新的部件。

    江成看向连广浩,“行,咱们开机试试。”

    连广浩握着拳头,紧张兮兮的开了机。

    通电之后,边上简陋的控制台屏幕慢慢启动着。

    整个机子,虽然没有漂亮的外观,但基本的部件是全了。

    七八个人守着,按照各自的分工安排,记录着数据情况。

    每一块部件、系统的功能,都需要保证能正常使用。

    试验人员拿着两块12寸的晶圆放了上去,设备操作师开始了操作。

    光刻过程中,需要人工的地方很少。

    在此之前,在旋涂机中已经旋涂了光刻胶,软烘后就等着光刻曝光了。

    激光通过激发,透过光罩,将上面的图形照射后进入了物镜,而后投射在了晶圆上面的光刻胶上。

    因为还是整机初步测试,江成并没有把浸没系统加上。

    光刻胶对深紫外线光非常敏感,照射后产生光分解反应,形成“沟壑”,而后通过显影、烘干等操作,就可以进行刻蚀了。

    试验的是一个简单的测试电路图形,在控制系统下,双工件台快速而又轻微的移动着,一块一块的曝光。

    一张12寸的晶圆,根据芯片die的尺寸不同,能够光刻不同数量的芯片。

    就如现在试验的,可以切出将近200枚。

    很快,在光罩上的图案光刻好了。

    试验人员取出晶圆,进行显影、烘干、刻蚀。

    期间还需要用掉不少的超纯水,用这些水,把晶圆上的杂质给清洗干净。

    有些无聊的光刻流程,但又是真的非常的神奇。

    通过光刻,将图案刻在了晶圆上,几十纳米线宽,不通过显微镜,根本看不到。

    而后再通过操作,让铜等金属在刻蚀的区域外延生长,做成了纳米级的电路。

    小小的一个芯片中,密密麻麻的布着电路。

    三个小时后,试验的晶圆好了,在此前每个步骤都有人员测试参数,这会儿更是开始了详细测试和验证。

    “……工艺最高达到了45nm!”虽然是蒙着嘴,但连广浩看着这检测仪器上的参数,兴奋的跳了起来!

    这还是干式光刻呢,如果通过浸没式的光刻呢,是不是能够突破28nm了?

    甚至通过多次曝光,达到更高的工艺?!

    连广浩这一句话,让场上的人顿时欢呼了起来!

    “真的吗?我们居然成功了?!”

    “天啊,咱们搞出来了!”

    “江董牛逼!”

    ……

    江成摇头笑笑,这些小伙子,还是太年轻了,他刚也看了(顺带模拟了),发现只是很少部分栅极的最小线宽达到了45nm,而且极不均匀。

    这里头,既有光刻工艺还不纯熟,也有可能后续的一些工艺流程还有缺陷。

    不过,这会儿,大家都在兴奋之中,他们已经忙活了大半年了,有这么一个好消息刺激刺激他们也好。

    “这是一个巨大的进步,离我们的浸没式光刻机又近了一步。”江成开口道,“不过,大家也别放松了,咱们还有很多要改进的地方。”江成提醒道。

    不仅如此,浸没式光刻,也不是那么容易的。

    除了超纯水,还需要配套的工艺技术。

    这一块,需要起耳机电的工程师一起来协助。

    而他们,还需要过几天才能抽调人过来。

    另外,现在是研发试验阶段,超纯水这些,购买就可以了。但真正的生产线,需要大批量生产的,那需要的超纯水就多了,还得配上循环的超纯水制备、储存设备呢!

    这一块,技术在日国等国家手里。

    连广浩开心道,“明白,江董,在您带领下,我们相信,再有一两个月,咱们一定可以把浸没式光刻机搞出来!”

    “嗯,有信心就好。现在都快下班了,大伙把数据整理收集好,另外,保密要求,相关试验的情况、数据参数,不能外传。”江成最后提醒道。

    “知道的。”

    “明白!”

    听到下班的消息,大伙松了口气,一致的回了句,这才开始离去。

    江成再细细的看了下,随后出了无尘车间。

    换了衣服后,江成拿到了自己的手机。

    手机之上,有着于歆然的两个未接电话。

    “喂,歆然?”

    “江成,你忙好啦?”电话那头,于歆然的声音非常开心。

    “是,刚从实验室里出来呢。你呢,在忙啥?”

    “我呀,你先猜猜我在哪?”于歆然笑着道。

    江成愣了下,“你来魔都了?”

    “嗯嗯!”于歆然满怀欣喜地点点头应道,随后声音小了下来,“我想你了……”

    ……


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